實(shí)驗(yàn)室氣路管道安裝一站式服務(wù)
實(shí)驗(yàn)室氣路管道安裝一站式服務(wù) 氣路系統(tǒng)主要用于處理高純度氣體或有毒氣體和腐蝕性氣體的控制設(shè)備,是方便于實(shí)驗(yàn)室供氣及安全的氣路系統(tǒng)。主要用于實(shí)驗(yàn)室、電子微電子、石油化工、太陽(yáng)能、分析儀器、核電廠、生物制藥、質(zhì)監(jiān)局、學(xué)校科研、原子吸收光譜法、廢氣分析、食品包裝、海洋工業(yè)、醫(yī)療/工業(yè)激光工業(yè)等高科技領(lǐng)域。
1.管道、球閥、卡套和三通均為316L不銹鋼;減壓器為高純氣體減壓器(不銹鋼閥芯),高壓軟管(連接鋼瓶和母線)為不銹鋼波紋管。高壓軟管的入口端設(shè)有單向閥,可防止鋼瓶更換時(shí)軟管內(nèi)的氣體泄漏,同時(shí)防止外界空氣混入氣路。
2.管道系統(tǒng):所有氣體管道均采用巴級(jí)316L不銹鋼管,管道上有過(guò)濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置,使氣體在循環(huán)過(guò)程中不會(huì)被管道系統(tǒng)污染,保證氣體的純度。同時(shí),應(yīng)有明確的標(biāo)志來(lái)指示氣體的流向。
3.管道連接:母線和端子部分通過(guò)卡套連接,便于減壓器和閥門的維護(hù)和管理。
4.終端:每臺(tái)儀表前應(yīng)配備截止閥和二次減壓器(每種氣體一個(gè))。截止閥用于控制每個(gè)氣路的開啟和關(guān)閉;當(dāng)儀器需要調(diào)整和維護(hù)時(shí),可以停止任何定儀器的供氣。減壓器用于顯示和調(diào)節(jié)終端的壓力。
1.不銹鋼管外明內(nèi)凈是選,其次是銅管和塑料管。避免室外部件使用塑料管。
2.室內(nèi)部件應(yīng)盡可能使用不銹鋼管。聚四氟乙烯管或聚乙烯管可用于特殊需要。
3.為了消除不必要的隱患,減少管道可能的泄漏點(diǎn),建議使用超長(zhǎng)不銹鋼軟管,容易彎曲和改變方向。有時(shí),為了便于施工和設(shè)計(jì),可以在管道中設(shè)置一些雙通和三通接頭。
1.高純氣體管道系統(tǒng)布置不同于普通氣體管道。通常要求管道不應(yīng)太長(zhǎng),并且不應(yīng)有不容易清洗的死角,如“盲管"。主管或支管的末端應(yīng)提供必要的排放口和取樣口。在一些非連續(xù)使用的用戶中,少量氣體在管道末端連續(xù)排出,從而管道中的氣體將正常流動(dòng),并且沒有“死區(qū)"。根據(jù)工藝氣體的質(zhì)量要求,如有必要,還需要布置末端凈化裝置。一般來(lái)說(shuō),控制閥、過(guò)濾器、減壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線分析儀器等。進(jìn)入潔凈車間的高純度氣體管道集中在氣體人口室,便于統(tǒng)一管理和控制。
2.高純氣路管道及附件材料:高純氣體管道輸送管道應(yīng)根據(jù)工藝對(duì)氣體純度、允許雜質(zhì)含量、顆粒含量等的不同要求,采用相應(yīng)質(zhì)量的管道。例如,半導(dǎo)體工業(yè)不僅需要清潔的生產(chǎn)環(huán)境,而且由于其復(fù)雜的生產(chǎn)過(guò)程和精細(xì)加工,對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中所需的各種高純度氣體也有具體和嚴(yán)格的要求。從微米技術(shù)到亞微米和深亞微米(小于0.35um)技術(shù),對(duì)氣體中雜質(zhì)含量和水分含量的要求非常嚴(yán)格,10-6 (ppm級(jí))不能滿足要求。需要達(dá)到10-9 (ppb級(jí))甚至10-12(ppt級(jí)),粉塵粒徑需要控制在0.05-0.01 μm。因此,輸送管道的管道材料特性必須滿足高純度和超高純度氣體的要求。
3.管道材料的特性對(duì)于輸送高純氣體的管道,影響氣體質(zhì)量的管道材料的主要特性是透氣性、出氣率、吸附性、表面粗糙度、耐磨性和耐腐蝕性。
外觀檢查
1.管道布線應(yīng)水平、平直和垂直;管子固定牢固。
2.管道外表面無(wú)明顯損壞。
3.每個(gè)閥件沒有明顯損壞。系統(tǒng)耐壓試驗(yàn)如果管道在充滿壓力后變形(如起泡、扭曲、膨脹和其他現(xiàn)象),這意味著系統(tǒng)不能在這種壓力下工作。如果系統(tǒng)在此壓力下長(zhǎng)時(shí)間工作,系統(tǒng)將在變形位置爆裂,造成人身和財(cái)產(chǎn)損失。 實(shí)驗(yàn)室氣路管道安裝一站式服務(wù)