醫(yī)用氣體管道工程的參數(shù)有哪些講究呢?
瀏覽次數(shù):1524發(fā)布日期:2021-10-16
醫(yī)用氣體管道工程輸送管道,要根據(jù)工藝過(guò)程對(duì)氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求不同,采用相應(yīng)質(zhì)量的管材。比如半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)因其生產(chǎn)工藝復(fù)雜、加工精細(xì),它不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境,而且對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴(yán)格的要求,從微米技術(shù)進(jìn)入亞微米、深亞微米(小于0.35g.m)技術(shù),對(duì)氣體中的雜質(zhì)含量、水含量要求極為嚴(yán)格,10 -6(ppm級(jí))已經(jīng)不能達(dá)到要求,需要達(dá)到10-9(ppb級(jí)),甚至10-12(ppt級(jí))。因此輸送管道本身的管道材料特性適應(yīng)高純、超高純氣體的要求成為必須。
下面談一談對(duì)于高純氣體管路的選擇。
首先,對(duì)輸送醫(yī)用氣體管道工程而言,其影響氣體質(zhì)量的管道材料主要特性是氣體滲透性、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。
氣體滲透性:
氣體從壓力(或分壓力)高的一側(cè)透過(guò)材料向壓力(或分壓力)低的一側(cè)流入的現(xiàn)象成為氣體滲透。對(duì)于輸送ppm級(jí)及更高純度要求的氣體,從氣體滲透角度必須選用不銹鋼管或者鋼管,如果我們不恰當(dāng)?shù)剡x用了不符合要求的管道材料,那么,無(wú)論我們采取什么凈化手段,都將是無(wú)濟(jì)于事的。
出氣速率:
材料冶煉過(guò)程形成的管道材料晶間或者晶格內(nèi)部存在著某些雜質(zhì),如氮、碳?xì)浠衔锏龋诟呒儦怏w輸送過(guò)程中,這些雜質(zhì)會(huì)緩慢地釋放出來(lái),污染高純氣體,尤其是雜質(zhì)要求在ppb以上級(jí)的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率極低。
吸附性:
由于水分等雜質(zhì)是極性分子,吸附性很強(qiáng)。橡膠、塑料或一些表面粗糙的材料極易吸附水分等雜質(zhì),銅材對(duì)水吸附性*,使用這些材料輸送高純氣體易被污染,除了輸送ppm級(jí)以下的氧氣會(huì)使用紫銅管外,高純氣體都不采用銅管和塑料管,氣體會(huì)接觸到的墊片、填料也不得采用橡膠、塑料材料(包括聚四氟乙烯)。
表面粗糙度和耐磨性:
為了確保輸送的氣體純凈度,要求管道材料內(nèi)表面有一個(gè)*的光潔度,這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留,可以在吹掃時(shí)比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨,可以在氣流高速?zèng)_刷下,產(chǎn)生的金屬粒子就少,不銹鋼比銅管產(chǎn)生粒子要少,所以不銹鋼管耐磨性優(yōu)于鋼管。