高純氣配管技術(shù)是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分,是能否將合符要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵技術(shù);所謂高純氣配管技術(shù)包括系統(tǒng)的正確設(shè)計(jì)、管件及附件的選擇、施工安裝和 試驗(yàn)測(cè)試等內(nèi)容。
常見氣體的種類電子行業(yè)中常見氣體的分類:普通氣體,也稱大宗氣體(Bulk gas ):氫氣(H2)、氮?dú)猓∟2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等特殊氣體的種類一般可分為腐蝕性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等,一般常用的半導(dǎo)體氣體分類如下:
(一)、腐蝕性 / 毒性:HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等
(二)、可燃性:H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等
(三)、助燃性:O2、Cl2、N2O、NF3…等
(四)、惰性:N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等 半導(dǎo)體氣體很多是對(duì)人體有害。
特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性,只要一泄漏就會(huì)與空氣中的氧氣起劇烈反應(yīng),開始燃燒;還有AsH3的劇毒性,任何些微的泄漏都可能造成人員生命的危害,也就是因?yàn)檫@些顯而易見的危險(xiǎn),所以對(duì)于系統(tǒng)設(shè)計(jì)安全性的要求就特別高。 醫(yī)療氣體管線供給系統(tǒng)是一個(gè)現(xiàn)代化醫(yī)院重要的且*的組成部分,它包括醫(yī)用氧氣系統(tǒng)、負(fù)壓吸引系統(tǒng)、壓縮空氣系統(tǒng)、笑氣(N2O)、氮?dú)庀到y(tǒng)及二氧化碳系統(tǒng)和中心工作站等。通過(guò)醫(yī)療氣體中心管道系統(tǒng)工程的合理設(shè)計(jì),使醫(yī)院能以較低的投資獲得一個(gè)功效強(qiáng)大的供氣系統(tǒng),確保醫(yī)院的醫(yī)療系統(tǒng)運(yùn)行。
一、 醫(yī)用氣體的基本種類及用途
1.醫(yī)用氣體的基本種類為醫(yī)用氧氣、負(fù)壓吸引、壓縮空氣、氮?dú)?、笑氣(N2O)及二氧化碳等氣體。
氧氣主要用于一般病人吸氧,危急病人吸氧及用于藥物的霧化等;
負(fù)壓吸引主要吸痰、膿及血液之用;
壓縮空氣用于口腔設(shè)備及作為動(dòng)力(混合氣體用);
氮?dú)庾鳛槭中g(shù)氣動(dòng)工具的動(dòng)力;
笑氣(N2O)用作為手術(shù)時(shí)的麻醉氣體。
二氧化碳?xì)庥糜诟骨怀錃饧霸囼?yàn)室培養(yǎng)細(xì)菌。
二、 醫(yī)用氣體管道系統(tǒng)及中心工作站(氣源)的設(shè)置
醫(yī)用氣體管道系統(tǒng)是指醫(yī)療用的氧氣,負(fù)壓吸引、壓縮空氣、笑氣、氮?dú)?、二氧化碳等氣體的集中供給、排放和配管系統(tǒng)。
醫(yī)用氣體設(shè)置的區(qū)域?yàn)椴》俊⑹中g(shù)室、監(jiān)護(hù)病房(1CU)、搶救室、急診、觀察室、高壓氧倉(cāng)、婦科人流室、口腔科等醫(yī)療場(chǎng)所。為保證醫(yī)療供氣系統(tǒng)穩(wěn)定、連續(xù)地供氣,采用集中管理的中央配管系統(tǒng)設(shè)置中心工作站(包括供氧站、真空泵房、空壓機(jī)站等),通過(guò)管道連接醫(yī)院每個(gè)氣體終端。